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單個元件的泄漏量檢測---二

3.氦質譜檢測法
  檢測原理：用氦氣做為示漏的氣體，沖入被檢元件內(nèi)，并將被檢件置于真空容器中，若發(fā)生泄漏，氦元素便通過真空容器被質譜檢漏儀測到，通過測量氦元素計算泄漏量。氦質譜檢測法精度較高，一般用于密封要求苛刻的場合。
  一種真空罩氦質譜檢測法，被檢元件與氦氣源相連，并將被檢元件放入真空罩中，真空罩和輔助泵、檢漏儀相連。先用輔助泵將真空罩抽成低真空，再關小輔助泵閥門，打開檢漏儀閥門，使檢漏儀運行在工作狀態(tài)；打開氦氣源閥門，向被檢元件內(nèi)沖入氦氣，如元件有泄漏，檢漏儀便給出指示�？偮┞实拇_定可以用標準泄漏儀對比法。
4.各檢測方法的性能對比
  顯然，氣泡滲漏法是最通用的一種檢測手段，但其精度和自動化程度都很低，批量檢測時效率低；氦質譜法雖然精度高，但成本也很高，用于特殊場合；綜合各方面性能對比，對單個元件的泄漏量檢測，首先推薦絕對壓力法和差壓法。




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