單個(gè)元件的泄漏量檢測(cè)---一
對(duì)單個(gè)氣動(dòng)元件或設(shè)備，常用的氣密性檢測(cè)方法有氣泡滲漏檢測(cè)法、氣壓監(jiān)測(cè)法、氦質(zhì)譜分析檢測(cè)法、流量檢測(cè)法等。
1.氣泡滲漏檢測(cè)法
工作原理：當(dāng)被測(cè)元件泄漏位置內(nèi)外兩側(cè)存在壓差時(shí)，若低壓側(cè)有顯示用的液體，泄漏的氣體便會(huì)在低壓側(cè)吹出氣泡，既可以依次判斷泄漏位置，也可從氣泡的大小和出現(xiàn)頻率判斷泄漏量。氣泡撿漏法又可分為浸泡法、熱槽法和抽真空法等。將被測(cè)元件做好封堵工藝后接至氣源，打開截止閥向其內(nèi)部充氣加壓，使壓力達(dá)到測(cè)試壓力；將被測(cè)元件進(jìn)入顯示用液體中，一段時(shí)間后，觀察氣泡溢出的情況。另外，可用集氣容器放在泄漏位置收集氣泡，以一段時(shí)間內(nèi)的泄漏氣體體積判斷泄漏量。
氣泡滲漏檢測(cè)法原理簡(jiǎn)單，易于操作，但自動(dòng)化程度低，檢測(cè)不精確。
2.氣壓檢測(cè)法
氣壓檢測(cè)法的基本原理是先向被檢元件內(nèi)部充入壓縮空氣，再通過檢測(cè)內(nèi)部氣體壓力的變化來達(dá)到檢測(cè)泄漏量的目的。氣壓檢測(cè)法可以分為絕對(duì)壓力法和差壓法，他們都是在泄漏檢測(cè)工程中普遍采用的方法。
①絕對(duì)壓力法
該方法常用于測(cè)量壓力容器的總漏率，其工作原理：向被檢元件內(nèi)充氣，使壓力達(dá)到一定值（一般和工作壓力相等），將被檢容器隔離，測(cè)量一定時(shí)間內(nèi)元件內(nèi)氣壓的下降值，以此計(jì)算出泄漏量。
絕對(duì)壓力法檢測(cè)時(shí)。若測(cè)試壓力過高，需使用大量程的壓力表，因而測(cè)量精度受限。同時(shí)，因測(cè)量過程中溫度變化，會(huì)引起測(cè)量誤差，采用差壓法可以避免這一問題。
②差壓法
工作原理：設(shè)置一個(gè)基準(zhǔn)物，用差壓傳感器連接基準(zhǔn)元件和被檢元件。測(cè)量時(shí)首先向被檢元件和基準(zhǔn)元件同時(shí)充入壓縮空氣達(dá)到相同的測(cè)試壓力（工作壓力），使差壓傳感器兩側(cè)氣壓平衡。再將基準(zhǔn)元件和被檢元件與氣源隔離，一段時(shí)間后，由于被檢元件的氣體泄漏，差壓傳感器兩側(cè)產(chǎn)生壓力差，根據(jù)傳感器的信號(hào)得出泄漏量。
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