接上文
（2）氣壓檢測(cè)法。氣壓檢測(cè)法的基本原理是先向被檢元件內(nèi)部充入壓縮空氣，再通過檢測(cè)內(nèi)部氣體壓力的變化來達(dá)到檢測(cè)泄漏量的目的。氣壓檢測(cè)法可以分為絕對(duì)壓力法和差壓法，他們都是在泄漏檢測(cè)工程中普遍采用的方法。
1）絕對(duì)壓力法。該方法常用于測(cè)量壓力容器的總漏率，其工作原理：向被檢元件內(nèi)充氣，使壓力達(dá)到一定值（一般和工作壓力相等），將被檢容器隔離，測(cè)量一定時(shí)間內(nèi)元件內(nèi)氣壓的下降值，以此計(jì)算出泄漏量。
絕對(duì)壓力檢測(cè)時(shí)，若測(cè)試壓力過高，需使用大量程的壓力表，因而測(cè)量精度受限。同時(shí)，因測(cè)量過程中溫度變化，會(huì)引起測(cè)量誤差，采用差壓法可以避免這一問題。
2）差壓法。工作原理：設(shè)置一個(gè)基準(zhǔn)物，用差壓傳感器連接基準(zhǔn)元件和被檢元件。測(cè)量時(shí)首先向被檢元件和基準(zhǔn)元件同時(shí)充入壓縮空氣達(dá)到相同的測(cè)試壓力（工作壓力），使差壓傳感器兩側(cè)氣壓平衡。再將基準(zhǔn)元件和被檢元件與氣源隔離，一段時(shí)間后，由于被檢元件的氣體泄漏，差壓傳感器兩側(cè)產(chǎn)生壓力差，根據(jù)傳感器的信號(hào)得出泄漏量。
3）氦質(zhì)譜檢測(cè)法。檢測(cè)原理：用氦氣作為示漏的氣體，充入被檢元件內(nèi)，并將被檢元件放入真空罩中，若發(fā)生泄漏，氦元素便通過真空容器被質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)到，通過測(cè)量氦元素計(jì)算泄漏量。氦質(zhì)譜檢測(cè)法精度較高，一般用于密封要求苛刻的場(chǎng)合。
一種真空罩氦質(zhì)譜檢測(cè)法舉例，被檢元件與氦氣源相連，并將被檢元件放入真空罩中，真空罩和輔助泵、檢漏儀相連。先用輔助泵將真空罩抽成低真空，再關(guān)小輔助泵閥門，打開檢漏儀閥門，使檢漏儀運(yùn)行在工作狀態(tài)；打開氦氣源閥門，向被檢元件內(nèi)充入氦氣，如元件有泄漏，檢漏儀便給出指示�？偮┞实拇_定可以用標(biāo)準(zhǔn)泄漏孔對(duì)比法。
4）各檢測(cè)方法的性能對(duì)比。上述幾種單個(gè)元件泄漏量檢測(cè)方法的特點(diǎn)，顯然，氣泡滲漏發(fā)是最通用的一種檢測(cè)手段，但其精度和自動(dòng)化程度都很低，批量檢測(cè)時(shí)效率低；氦質(zhì)譜法雖然精度高，但成本也高，用于特殊場(chǎng)合；綜合各方面性能對(duì)比。對(duì)單個(gè)元件的泄漏量檢測(cè)，首先推薦絕對(duì)壓力法和差壓法。
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